元素分析方法挺多的，现在就简单谈一下很常用的这几种，之所以这样写，是为了对比记忆相对更牢固些

把每种表征方式展开讲，那就海了去了，小伙慢慢奉上！

XPS: 表面样品，一般2nm左右的检测深度，X射线很难聚焦，空间分辨率不好
EDS：表面样品，检测深度去决定于加速电压，一般微米级别，所以对于表面物质，尽量用低电压测。空间分辨率不错

SEM上配的能谱目前可以测到Be，测Li目前还不行。B、N什么的是可以的 但含量不能太低

H/He/Li测不了，轻元素含量不太准
SIMS：表面样品，很牛逼的技术，把表面一层一层的测，空间分辨率好
EELS：一般是作为TEM的附件，能量分辨率和空间分辨率都不错
XRF：忘记了
ICP：样品必须先消解后，才能以溶液状态测。
有机元素分析：主要检测CHONS等元素，体相样品