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等离子体物理基础

本帖最后由 刘沐 于 2015-3-25 19:52 编辑

制备薄膜的方法大概可以分为两类:物理气相沉积以及化学气相沉积。两者相比由于物理气相沉积的膜基结合力较强,因此受到的关注较多。而物理气相沉积大多(这里主要指的是磁控溅射和离子镀)需要在沉积室内放电,在空间中形成等离子体。等离子的运动对于膜层的质量很有影响。因此了解等离子的的形成以及其在电磁场中的受力行为十分必要。这本等离子体物理基础共包括八章内容,希望对你有所帮助。
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thunder17

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沙发
Alant 发表于 2015-4-11 20:55:11
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清塘荷韵 发表于 2015-4-15 21:32:31
感谢感谢,楼主辛苦额
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地板
金蘑菇 发表于 2015-6-30 09:09:18
谢谢分享{:4_107:}
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toa
5#
toa 发表于 2018-11-28 13:33:13
dd
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6#
kmr2018 发表于 2020-11-10 10:21:47

























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7#
kingandking 发表于 2021-9-6 20:15:46
感谢
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