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电子能量损失谱及其定量微观分析
科研探索科技     2021-07-16 微信扫码分享  
入射电子束在与薄试样相互作用的过程中会由于非弹性散射而损失一部分能量,其中一部分电子所损失的部分能量值是试样中某个元素的特征值,采集透射电子信号强度,并按其损失能量大小展示出来,这就是电子能量损失谱(electron energy loss spectroscopy, EELS),其中具有特征能量损失的透射电子的信号是电子能量损失谱进行微区分析的基础。
TEM数据分析及应用
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