透射电镜元素分析技术讲解

0.0 元素分析概述

课程安排

第一讲：2021.2.20.10：00-12：00
0. TEM元素分析概述
i. 电子和材料的交互作用
ii. EDS、EELS和EFTEM的优缺点
1. EDS：快速可靠且普适的元素分析技术
i. 原理及硬件
ii. EDS定量分析
iii. EDS数据采集的注意点

第二讲：2021.2.27.10:00-12:00
2. 高级向：电子吸收谱EELS和EFTEM
i. 电子中的三棱镜GIF原理
ii. EELS定量分析
iii. 影响EELS的关键因素

第三讲：2021.2.28.10:00-12:00
3. 分析实例
i. 结合EDS面扫mapping分析物相
ii. EELS面扫
a. Core loss元素分布扫描
b. Low loss厚度分布扫描
c. Low loss化学价态分布扫描
iii. EFTEM应用实例
a. EFTEM厚度分布图
b. Core loss元素分布图
c. 利用EFTEM增强衬度

讲师介绍
马老师，海外知名大学博士，现为美国某top10大学任透射电子显微镜仪器科学家。长期从事透射电子显微镜对材料的表征工作，熟悉各种透射电镜相关技术，并有丰富的讲授经验。利用透射电子显微镜技术发表过多篇高水平学术论文。已在材料人APP内讲过STEM课程、TEM数据分析课程。

0.0 元素分析概述 透射电镜元素分析技术讲解

1.1 特征X射线及其检测原理 透射电镜元素分析技术讲解

1.2EDS检出器 透射电镜元素分析技术讲解

1.3 EDS检出器（2） 透射电镜元素分析技术讲解

1.4 EDS定量分析 透射电镜元素分析技术讲解

1.5 干扰信号 透射电镜元素分析技术讲解

2.1 电子能量损失 透射电镜元素分析技术讲解

2.2 EELS和FETEM 透射电镜元素分析技术讲解

2.3 三棱镜与分光 透射电镜元素分析技术讲解

2.4 EELS、 ZLP 透射电镜元素分析技术讲解

2.5 Plasmon 透射电镜元素分析技术讲解

2.6 eels定量分析理论 透射电镜元素分析技术讲解

2.7 eels定量分析步骤 透射电镜元素分析技术讲解

2.8 影响eels的关键因素 透射电镜元素分析技术讲解

2.9 第二节课答疑 透射电镜元素分析技术讲解

3.1 结合EDS面扫mapping分析物相（案例1） 透射电镜元素分析技术讲解

3.2 结合EDS面扫mapping分析物相(案例2） 透射电镜元素分析技术讲解

3.3 EELS面扫案例 透射电镜元素分析技术讲解

3.4 EFTEM应用实例 透射电镜元素分析技术讲解

3.答疑 透射电镜元素分析技术讲解