复旦大学微电子学院丁士进课题组首次开发了聚噻吩薄膜的分子层沉积制备工艺，并研制出了基于超薄聚噻吩薄膜的高性能柔性氨气传感器。这种基于分子层沉积方法的层层组装工艺利用噻吩基团的氧化聚合反应机理，通过化学吸附和物理吸附相结合的方式，实现了聚噻吩薄膜厚度相对于工艺循环次数的线性增长。相比于采用传统旋涂工艺制备的聚噻吩薄膜，分子层沉积法制备的超薄膜在厚度均匀性、薄膜连续性方面具有明显的优势。本文在对薄膜组分深入分析的基础上，详细地揭示了该工艺的过程机理，所制备的氨气传感器表现出优异的响应速度和灵敏度，属于已报道的同类器件的最佳性能。此外，聚噻吩薄膜的分子层沉积也可适用于柔性聚合物衬底，所研制的器件展示出良好氨气灵敏度与机械柔性。相关工作以“High-Performance Flexible Gas Sensors Based on Layer-by-Layer Assembled Polythiophene Thin Films”为题发表于Chemistry of Materials杂志。