浙江大学林宏焘研究员团队与西湖大学李兰研究员团队， 携手清华-伯克利深圳学院刘碧录、徐晓敏团队及中国科学院微电子所唐波老师，共同报道了Bi₂O₂Se与硅波导、硅基微环集成工艺，实现了高性能O波段光电探测器。采用化学气相沉积法合成了高质量的Bi₂O₂Se，利用光刻、离子束刻蚀等工艺获得了O波段的高性能光学无源器件，主要包括光栅、波导、多模干涉仪、微环谐振器等，并通过干法转移的方式实现了Bi₂O₂Se与硅基波导、微环的集成。该波导集成型Bi₂O₂Se探测器具有暗电流低、响应度大、噪声等效功率低、响应速度快、频谱响应宽等特点；微环集成型Bi₂O₂Se探测器除上述特点外还呈现出波长选择性的探测功能。该工作将推动二维材料与波导集成的发展，报导的探测器在微型光谱仪、光学传感、光通讯等领域有很好的应用前景。相关成果以“High-Performance Waveguide-Integrated Bi₂O₂Se Photodetector for Si Photonic Integrated Circuits”为题发表在ACS Nano上。