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二维In2Se3薄膜多种相的大面积、可控生长
材料人客服小谭     2022-12-30 微信扫码分享 登录后可收藏  
应用场景:
FE电子以及内存中逻辑器件
关键性能:
一种改进的CVD方法,可实现β与β′相的二维In2Se3的大面积、可控生长
产品介绍:

香港理工大学应用物理系的赵炯教授、杨明教授团队与香港城市大学李淑惠教授团队报道了二维In2Se3薄膜多种相的大面积、可控生长。作者首先利用垂直CVD生长方法实现了二维β相In2Se3的大面积生长,然后在CVD生长过程中,在前驱体中加入InSe获得了大面积的β′-In2Se3薄膜。最后,将大面积的β′-In2Se3薄膜转移到柔性基底上,成功实现了大面积的α-In2Se3薄膜。作者通过实验和理论机理研究证实了InSe晶体的种子效应,它引发了In2Se3从β相到β′相的转变;而机械应变负责β′到α相的转变。最后,作者成功地制备了β′-α异相结,其显示出更宽的门控滞后窗口,并大大改善了非易失性存储器(NVM)特性。该研究成果以题为“Phase-controllable large-area two-dimensional In2Se and ferroelectric heterophase junction”发表在国际期刊Nature Nanotechnology上。

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