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孔径小于10纳米的固态纳米孔制备新方法
应用场景:固态纳米孔制备
关键性能:改变重离子的电子能损调控孔径大小,改变重离子辐照注量调节孔密度,使得整个制孔过程一步完成,不涉及化学蚀刻,具有一定的普适性和应用潜力
标签属性:
纳米制备
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